1993年，清华大学提出创建清华科技园的构想，并得到教育部和北京市的确认和批准。 1994年，组建清华科技园发展中心，正式开始建设科技园。 1998年，12万平方米的起步区工程完工，园区初具规模。 1999年，被纳入中关村科技园区的总体规划，予以重点发展支持。 2000年，57万平方米的主体园区建设启动，入园企业达到200家。 2001年，被科技部、教育部确认为首批国家大学科技园之一。 2003年，被科技部、教育部评定为全国唯一的A类大学科技园。 2005年，园区69万平方米的建筑全部建成完毕。 清华科技园地处北京中关村科技园区的核心地带，这里聚集了数量众多的著名高等院校和研究院所，是中国最大、世界少有的智力密集区，同时享有中关村科技园区大规模基础设施建设和一系列配套优惠政策。园区周边交通便利，主干道纵贯四环、三环直通西直门地铁站，城市轻轨侧沿园区通行。